

学位
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博士(工学) ( 大阪大学 )
研究キーワード
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酸化物半導体
研究分野
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ナノテク・材料 / 薄膜、表面界面物性
取得資格
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衛生工学衛生管理者
講演・口頭発表等
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マルチカソード反応性スパッタリング法によるZnO:Ga透明導電膜の作製
瀧本 陽平, 原本 祐輔, 徳永 葵, 吉岡 勇太, 上村 明
平成23 年度 電気関係学会四国支部連合大会 2011年9月
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高周波マグネトロンスパッタリング法によるSnO2:Al薄膜の作製
前久 裕亮, 増原 隆介, 津村 達耶, 上村 明
平成23 年度 電気関係学会四国支部連合大会 2011年9月
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マルチカソード反応性スパッタリング法によるZnO:Ga,N 薄膜の作製
土井 隆広, 松ヶ崎 晴久, 瀧本 陽平, 原本 祐輔, 上村 明
平成24年度 電気関係学会四国支部連合大会 2012年9月
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高周波マグネトロンスパッタリング法により作製したSnO2:Ga 薄膜の作製
信尾 勝斗, 近藤 真洋, 横瀬 充, 前久 裕亮, 増原 隆介, 津村 達耶, 上村 明
平成24年度 電気関係学会四国支部連合大会 2012年9月
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反応性スパッタリング法により作製したZnO:Ga,N薄膜の電気的特性に対するZnターゲット表面の影響
高橋 理佳, 土井 隆広, 松ヶ崎 晴久, 上村 明
平成25年度 電気関係学会四国支部連合大会 2013年9月
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高周波マグネトロンスパッタリング法により作製したSnO2:Ga薄膜の電気的性質
高野 祐輔, 森 亮人, 信尾 勝斗, 近藤 真洋, 横瀬 充, 上村 明
平成25年度電気関係学会四国支部連合大会 2013年9月
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ZnO薄膜に対するSiO2キャップ層形成の影響
三谷 達也, 大村 和寛, 原田 学, 松本 浩史, 上村 明
平成28年度 電気関係学会四国支部連合大会 2016年9月
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高周波マグネトロンスパッタリング法により作製したSnO2:N薄膜の電気的性質
神垣 武志, 林 慎也, 石川 優輝, 吉田 真之介, 佐藤 弘章, 上村 明
平成28年度 電気関係学会四国支部連合大会 2016年9月
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スパッタリング法により作製したZnO:P/ZnO:Ga薄膜の電流電圧特性における紫外線照射の影響
梅原 弘暉, 津田 眞, 上村 明
平成29年度 電気関係学会四国支部連合大会 2017年9月
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スパッタリング法により作製したZnO:P/ITO積層膜の基板温度依存性
梅原 弘暉, 仲戸 大亮, 上村 明
平成30年度 電気関係学会四国支部連合大会 2018年9月
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高周波マグネトロンスパッタリング法により作製した SnO2:N 薄膜の電流電圧特性
小谷 拓也, 山崎 壮介, 上村 明
平成30 年度 電気関係学会四国支部連合大会 2018年9月